Важнейшие результаты 2020 г.

Технология формирования слоев нанопористого германия различной морфологии, зависящей от массы имплантированного иона переходного металла

Авторы: А.Л. Степанов, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев (КФТИ ФИЦ КазНЦ РАН)

Разработана технология получения тонких слоев нанопористого Ge (PGe) с различной морфологией при помощи низкоэнергетический высокодозовой ионной имплантации. Методом сканирующей электронной микроскопии высокого разрешения показано как морфология PGe зависит от массы внедряемых ионов переходных металлов (52Cr+, 55Mn+, 56Fe+, 59Ni+, 63Cu+, 108Ag+, 122Sb+). Полученные результаты продемонстрированы на конкретном примере ионной имплантации монокристаллических пластин c-Ge при энергии 30-40 кэВ и дозе 5.0⋅1016 ион/см2. Установлено что морфология слоев PGe с ростом массы облучаемого иона меняет свою структуру от лабиринтовой, дырочной, мембранной, трёхмерной сетчатой до губчатой c нанонитями. Тонкие слои PGe различной морфологии могут найти применение в качестве элементов солнечных батарей в ближней ИК области, электродов ионно-литиевых аккумуляторов, каркасных структур для культивирования бактерий и биопленок в биомедицинских исследованиях, сенсоров с усиленным сигналом комбинационного рассеяния и др.

2020-5.png
Рис.1 Слои нанопористого германия различной морфологии

Публикации:

  1. A.M. Rogov, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, A.L. Stepanov, Formation of porous germanium layers with various surface morphology in dependence on mass of implanted ions, Composites Comm. 19 (2020) 6 (Scopus - Q1);
  2. V.G. Evtugin, A.M. Rogov, L.R. Valeeva, N.N. Khabipova, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, A.L. Stepanov, Biological cell scaffolds based on nanoporous germanium layers formed by ion implantation, Vacuum 177 (2020) 109403 (Scopus - Q1);
  3. А.Л. Степанов, А.М. Рогов, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Подложка монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия, Патент РФ на изобретение № 2734458 (2020);
  4. А.Л. Степанов, А.М. Рогов, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Способ изготовления подложки монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия, Патент РФ на изобретение, Заявка № 2019133549, получено положительное решение на выдачу патента в 2020
Направление: II. Физические науки, направление 9

Возврат к списку
Яндекс.Метрика